レーザー干渉計 Sシリーズ|概要光学計測機器

フィゾー型 レーザー干渉計 Sシリーズ

基本情報

商品名
レーザー干渉計 Sシリーズ

高品質の計測を実現する最新鋭レーザー干渉計です。
光学性能の向上に重点を置いた“最適な光学設計”と“部品品質”の追求により、測定結果に含まれる誤差成分を大幅に低減させました。

おもな共通特長

3種の光源オプションをラインアップ
お客さまのニーズに最適な干渉計をフレキシブルに提案。
回折限界までのイメージ分解能の向上
S50|HRで50µmのイメージ分解能を実現。
パワフルなデータ解析とレポート機能
Äpre(アプレ)社開発の専用ソフトウエア“REVEAL™”による測定解析データ。
「VTPSI(Vibration Tolerant PSI)測定機能」標準搭載
振動環境に強い位相シフト測定。
干渉計内部のリトレースエラーを最小化
高精度な光学部品の測定において安定したデータを提供。
「Carrier Fringe測定機能」標準搭載
過酷な振動環境での測定が可能。
画像歪み(水平方向誤差)の低減
わずか0.1%未満の画像歪を実現。