動画によるご紹介光学計測機器
レーザー干渉計の自動測定開発事例
動画による事例をご紹介します。
干渉縞アライメントシステム（1）
弊社が過去に開発した特許技術をご紹介します。（特許番号：WO2010052895A1）
- レンズ：BlueRay用対物レンズ NA：0.85
- レンズ透過波面計測、外周部に平面フランジ面あり
- レンズトレー上にX-Y方向に5×5の合計25枚のレンズを準備する事が可能
- ステージ：X-Y-Z-Tip／Tilt 電動5軸ステージ
- 特許（国際特許として出願済み）
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字幕内容
0：00～0：10 レンズのフランジ面の反射波面計測をPSI（干渉計による位相計測）で行い、Tip／Tilt傾斜調整
0：11～0：15 レンズ透過波面を画像処理にてX-Yステージを中央部へ移動
0：15～0：16 レンズ透過波面を画像処理にてZステージをPSI計測可能位置へ移動
0：17～0：19 レンズ透過波面をPSI計測を行いながらX-Y-Zステージを移動 ／ Power＝0.001wave, TiltX／Y＝0.1sec目標にステージを移動
0：20～0：25 レンズ透過波面をPSI計測を行いながら、自動干渉縞調整 ／ Power＝0.001wave, TiltX／Y＝0.1secまで X-Y-Zステージを移動
0：25～0：26 トレー上の次のレンズにX方向移動
干渉縞アライメントシステム（2）
同様の技術でÄpre（アプレ）社干渉計においても自動アライメントが可能です。
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