レーザー干渉計 Sシリーズ｜概要光学計測機器
基本情報
- 商品名
- レーザー干渉計 Sシリーズ
高品質の計測を実現する最新鋭レーザー干渉計です。
光学性能の向上に重点を置いた“最適な光学設計”と“部品品質”の追求により、測定結果に含まれる誤差成分を大幅に低減させました。
おもな共通特長
- 3種の光源オプションをラインアップ
- お客さまのニーズに最適な干渉計をフレキシブルに提案。
- 回折限界までのイメージ分解能の向上
- S50｜HRで50µmのイメージ分解能を実現。
- パワフルなデータ解析とレポート機能
- Äpre（アプレ）社開発の専用ソフトウエア“REVEAL™”による測定解析データ。
- 検出可能な干渉縞（フリンジ）本数の最大化
- 最大650本／視野に対応。
- 「VTPSI（Vibration Tolerant PSI）測定機能」標準搭載
- 振動環境に強い位相シフト測定。
- 干渉計内部のリトレースエラーを最小化
- 高精度な光学部品の測定において安定したデータを提供。
- 「Carrier Fringe測定機能」標準搭載
- 過酷な振動環境での測定が可能。
- 画像歪み（水平方向誤差）の低減
- わずか0.1％未満の画像歪を実現。
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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 第二営業本部 営業部 営業第一課
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