フィゾー型 レーザー干渉計 Sシリーズ｜仕様光学計測機器
商品仕様
| Sシリーズ | 口径サイズ | SRW 波長変調モデル |
SR スタンダードモデル |
HR ハイスペックモデル |
HRx 超高解像度モデル |
|---|---|---|---|---|---|
| 光線口径 | S50 | 2inch（51mm） | |||
| S100 | 4inch（102mm） | ||||
| S150 | 6inch（153mm） | ||||
| S300 | 12inch（304mm） | ||||
| 光軸高さ | S50 | 108mm | |||
| S100 | 108mm | ||||
| S150 | 133mm | ||||
| S300 | 別途応談 | ||||
| フォーカス範囲 | S50 | ±2,000（mm） | |||
| S100 | ±2,000（mm） | ||||
| S150 | ±4,500（mm） | ||||
| S300 | ±2,000（mm） | ||||
| 本体寸法 （W×D×H） |
S50 | 630×290×180（mm） | |||
| S100 | 700×320×250（mm） | ||||
| S150 | 902×408×239（mm） | ||||
| S300 | 760×400×500（mm） | ||||
| 重量 | S50 | 25kg | |||
| S100 | 33kg | ||||
| S150 | 50kg | ||||
| S300 | 100kg | ||||
| 計測原理 | 波長変調位相シフト法 （Wavelength Shifting PSI） |
位相シフト法（PSI） | |||
| キャリアフリンジ法 | |||||
| アライメントシステム | 2スポットレティクル（角度範囲2度） | ||||
| レーザー光源 | 波長変調633nmレーザー | 波長安定化 SLM 633nm He-Neレーザー | |||
| レーザー波長安定性 | ＜0.0001nm | ||||
| 可干渉距離 | ＞100m | ||||
| 光線偏光 | 円偏光（その他オプション対応） | ||||
| 光源オプション | SCI光源、近赤外波長光源 | SCI光源、波長変調レーザー光源、近赤外波長光源 | |||
| カメラ解像度 | 1024×1024画素 | 2044×2044画素 | 3258×3258画素 | ||
| 最小シャッター速度 | 9µ秒 | ||||
| デジタイゼイション | 12ビット（S300は標準8ビット、オプションで12bit） | ||||
| コンピューター&ソフトウエア | 高性能PC、Windows® 64-bit OS（ノートPCオプション可能） REVEALソフトウエア |
||||
| 本体固定方向 | 水平、または垂直 | ||||
| 対応アクセサリー | 業界標準バヨネットマウント | ||||
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Windows は米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標です。
性能仕様
| Sシリーズ | 口径サイズ | SRW | SR | HR | HRx |
|---|---|---|---|---|---|
| イメージ 分解能 |
S50 | 100µm | 50µm | 35µm | |
| S100 | 200µm | 100µm | 70µm | ||
| S150 | 300µm | 150µm | 105µm | ||
| S300 | - | 300µm | - | ||
| 画像歪み | ＜0.06％（全フォーカス範囲） | ||||
| フリンジ解像度 | ＞300本／口径 | ＞500本／口径 | ＞600本／口径 | ||
| リトレース誤差 | ＜λ／15＠256フリンジ ＜λ／20オプション対応 |
＜λ／15＠512フリンジ（S300は＠200フリンジ） ＜λ／20オプション対応 |
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| RMS単純再現性 | ＜0.6nm RMS 1σ、平均化なし | ||||
| RMS波面再現性 | ＜0.6nm RMS 1σ、平均化なし | ||||
| 試料反射率 | 0.1％～40％（直接測定） 41％以上（減衰フィルターまたはコーティング対応） S300は0.5％～100％ |
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環境仕様
| Sシリーズ | 口径サイズ | SRW | SR | HR |
|---|---|---|---|---|
| 温度 | 15℃～30℃ | |||
| 温度変化 | ＜1.0℃／15分 | |||
| 湿度 | 5％～95％、結露がないこと | |||
| 振動対策 | 防振台の使用を推奨 | |||
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商品の仕様は予告なく変更する場合があります。
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