レーザー干渉計 Sシリーズ｜特長光学計測機器

イメージ分解能（Image Resolution）とは、どれだけ小さな領域の凹凸を計測できるかの水平方向の指標です。S50｜HRの場合、50µmの高いイメージ分解能を実現します。近年のCNC研磨加工、精密切削加工では、中間領域の空間周波数の凹凸制御は重要課題となっております。加工ツールや加工駆動系の状態を見るには、それ相応のイメージ分解能が必要となります。

干渉縞本数（Fringe Resolution）とは、観察視野において、干渉計測が可能な測定対象面の傾斜限界です。Sシリーズで位相シフトする場合、最大650本／視野に対応します。多くの干渉計は、視野絞りにより傾斜面からの戻り光を遮断してしまいますが、この限界を改善し、より大きな収差の波面の計測が可能となります。

複数の干渉縞がある場合での測定時に発生するリトレースエラーを最小化する光学デザインと、そのパフォーマンスを引き出す光学部品を選定し、計測における不確かさを極限まで低減します。Sシリーズは、干渉縞512本でもλ／15未満のリトレースエラー（HR・HRxの場合、SRは256本）を実現します。これにより大きな収差波面の高精度な計測が可能です。また、干渉縞本数の調整が不要で、キャリアフリンジ法では誤差補正も不要となります。

画像歪み（Image Distortion）とは、測定対象の位置が、測定データとして正しく再現されない割合を表します。Sシリーズは、わずか0.06％未満の画像歪み（HR、HRxの場合、SRは0.1％）を実現します。近年のCNC研磨は、形状データからの補正加工が主流となっております。画像歪みの存在は、誤った位置を加工するリスクとなります。

操作性を追求したÄpre社開発の専用ソフトウエア“REVEAL™”が測定からデータ解析、レポート作成などをサポートします。