フィゾー型レーザー干渉計 Sシリーズ｜仕様光学計測機器

商品仕様

Sシリーズ	口径サイズ	SRW 波長変調モデル	SR スタンダードモデル	HR ハイスペックモデル	HRx 超高解像度モデル
光線口径	S50	2inch（51mm）
	S100	4inch（102mm）
	S150	6inch（153mm）
	S300	12inch（304mm）
光軸高さ	S50	108mm
	S100	108mm
	S150	133mm
	S300	別途応談
フォーカス範囲	S50	±2,000（mm）
	S100	±2,000（mm）
	S150	±4,500（mm）
	S300	±2,000（mm）
本体寸法（W×D×H）	S50	630×290×180（mm）
	S100	700×320×250（mm）
	S150	902×408×239（mm）
	S300	760×400×500（mm）
重量	S50	25kg
	S100	33kg
	S150	50kg
	S300	100kg
計測原理		波長変調位相シフト法（Wavelength Shifting PSI）	位相シフト法（PSI）
計測原理		キャリアフリンジ法
アライメントシステム		2スポットレティクル（角度範囲2度）
レーザー光源		波長変調633nmレーザー	波長安定化 SLM 633nm He-Neレーザー
レーザー波長安定性		＜0.0001nm
可干渉距離		＞100m
光線偏光		円偏光（その他オプション対応）
光源オプション		SCI光源、近赤外波長光源	SCI光源、波長変調レーザー光源、近赤外波長光源
カメラ解像度		1024×1024画素		2044×2044画素	3258×3258画素
最小シャッター速度		9µ秒
デジタイゼイション		12ビット（S300は標準8ビット、オプションで12bit）
コンピューター&ソフトウエア		高性能PC、Windows^® 64-bit OS（ノートPCオプション可能） REVEALソフトウエア
本体固定方向		水平、または垂直
対応アクセサリー		業界標準バヨネットマウント

※
Windows は米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標です。

性能仕様

Sシリーズ	口径サイズ	SRW	HR	HRx
イメージ分解能	S50	100µm	50µm	35µm
	S100	200µm	100µm	70µm
	S150	300µm	150µm	105µm
	S300	-	300µm	-
画像歪み		＜0.06％（全フォーカス範囲）
フリンジ解像度		＞300本／口径	＞500本／口径	＞600本／口径
リトレース誤差		＜λ／15＠256フリンジ＜λ／20オプション対応	＜λ／15＠512フリンジ（S300は＠200フリンジ）＜λ／20オプション対応
RMS単純再現性		＜0.6nm RMS 1σ、平均化なし
RMS波面再現性		＜0.6nm RMS 1σ、平均化なし
試料反射率		0.1％～40％（直接測定） 41％以上（減衰フィルターまたはコーティング対応） S300は0.5％～100％