フィゾー型 レーザー干渉計 Sシリーズ|仕様光学計測機器

商品仕様

Sシリーズ 口径サイズ SRW
波長変調モデル
SR
スタンダードモデル
HR
ハイスペックモデル
HRx
超高解像度モデル
光線口径 S50 2inch(51mm)
S100 4inch(102mm)
S150 6inch(153mm)
S300 12inch(304mm)
光軸高さ S50 108mm
S100 108mm
S150 133mm
S300 別途応談
フォーカス範囲 S50 ±2,000(mm)
S100 ±2,000(mm)
S150 ±4,500(mm)
S300 ±2,000(mm)
本体寸法
(W×D×H)
S50 630×290×180(mm)
S100 700×320×250(mm)
S150 902×408×239(mm)
S300 760×400×500(mm)
重量 S50 25kg
S100 33kg
S150 50kg
S300 100kg
計測原理 波長変調位相シフト法
(Wavelength Shifting PSI)
位相シフト法(PSI)
キャリアフリンジ法
アライメントシステム 2スポットレティクル(角度範囲2度)
レーザー光源 波長変調633nmレーザー 波長安定化 SLM 633nm He-Neレーザー
レーザー波長安定性 <0.0001nm
可干渉距離 >100m
光線偏光 円偏光(その他オプション対応)
光源オプション SCI光源、近赤外波長光源 SCI光源、波長変調レーザー光源、近赤外波長光源
カメラ解像度 1024×1024画素 2044×2044画素 3258×3258画素
最小シャッター速度 9µ秒
デジタイゼイション 12ビット(S300は標準8ビット、オプションで12bit)
コンピューター&ソフトウエア 高性能PC、Windows® 64-bit OS(ノートPCオプション可能)
REVEALソフトウエア
本体固定方向 水平、または垂直
対応アクセサリー 業界標準バヨネットマウント
  • Windows は米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標です。

性能仕様

Sシリーズ 口径サイズ SRW SR HR HRx
イメージ
分解能
S50 100µm 50µm 35µm
S100 200µm 100µm 70µm
S150 300µm 150µm 105µm
S300 - 300µm -
画像歪み <0.06%(全フォーカス範囲)
フリンジ解像度 >300本/口径 >500本/口径 >600本/口径
リトレース誤差 <λ/15@256フリンジ
<λ/20オプション対応
<λ/15@512フリンジ(S300は@200フリンジ)
<λ/20オプション対応
RMS単純再現性 <0.6nm RMS 1σ、平均化なし
RMS波面再現性 <0.6nm RMS 1σ、平均化なし
試料反射率 0.1%~40%(直接測定)
41%以上(減衰フィルターまたはコーティング対応)
S300は0.5%~100%

環境仕様

Sシリーズ 口径サイズ SRW SR HR
温度 15℃~30℃
温度変化 <1.0℃/15分
湿度 5%~95%、結露がないこと
振動対策 防振台の使用を推奨
  • 商品の仕様は予告なく変更する場合があります。

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