動画によるご紹介光学計測機器

レーザー干渉計の自動測定開発事例

動画による事例をご紹介します。

干渉縞アライメントシステム(1)

弊社が過去に開発した特許技術をご紹介します。(特許番号:WO2010052895A1)

  • レンズ:BlueRay用対物レンズ NA0.85
  • レンズ透過波面計測、外周部に平面フランジ面あり
  • レンズトレー上にX-Y方向に5×5の合計25枚のレンズを準備する事が可能
  • ステージ:X-Y-Z-Tip/Tilt 電動5軸ステージ
  • 特許(国際特許として出願済み)
  • 字幕内容

    0:00~0:10 レンズのフランジ面の反射波面計測をPSI(干渉計による位相計測)で行い、Tip/Tilt傾斜調整
    0:11~0:15 レンズ透過波面を画像処理にてX-Yステージを中央部へ移動
    0:15~0:16 レンズ透過波面を画像処理にてZステージをPSI計測可能位置へ移動
    0:17~0:19 レンズ透過波面をPSI計測を行いながらX-Y-Zステージを移動 / Power=0.001wave, TiltX/Y=0.1sec目標にステージを移動
    0:20~0:25 レンズ透過波面をPSI計測を行いながら、自動干渉縞調整 / Power=0.001wave, TiltX/Y=0.1secまで X-Y-Zステージを移動
    0:25~0:26 トレー上の次のレンズにX方向移動

干渉縞アライメントシステム(2)

同様の技術でÄpre(アプレ)社干渉計においても自動アライメントが可能です。