プラズマエッチング装置/プラズマCVD装置TOPへ
豊富なアプリケーションを有するプラズマエッチング装置
高密度で耐湿性の高い成膜が可能な高生産性プラズマCVD装置
研究開発から小規模生産をカバーするプラズマエッチング/CVD装置