TriLambda|仕様ナノX線CT顕微鏡

項目 仕様
測定モード 高分解能モード(HRES) 広視野モード(LFOV)
空間分解能 40nm 120nm
測定視野 18µm 60µm
ボクセルサイズ 13nm 40nm
コントラスト法 吸収コントラスト
位相差コントラスト
X線源 Sigray FAAST-Micro™ソース:トライエネルギー(Cr、Fe、Cu)、追加ターゲット(Rh、Au等)/出力100W
X線光学系 Sigrayツイン放物面ミラーコンデンサー、フレネルゾーンプレート、位相リング
検出器 CCD 2,048×2,048ピクセル
外形寸法 2.3m(幅)×1.3m(奥行)×1.5m(高さ)
装置重量 2,000kg
試料ステージ耐荷重 1kg
ステージトラベル 12mm(X軸)、10mm(Y軸)、12mm(Z軸)
  • 製品の仕様は予告なく変更する場合があります。

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 第二営業本部 計測分析機器部 分析機器課

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