TriLambda|仕様ナノX線CT顕微鏡
項目 | 仕様 | |
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測定モード | 高分解能モード(HRES) | 広視野モード(LFOV) |
空間分解能 | 40nm | 120nm |
測定視野 | 18µm | 60µm |
ボクセルサイズ | 13nm | 40nm |
コントラスト法 | 吸収コントラスト 位相差コントラスト |
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X線源 | Sigray FAAST-Micro™ソース:トライエネルギー(Cr、Fe、Cu)、追加ターゲット(Rh、Au等)/出力100W | |
X線光学系 | Sigrayツイン放物面ミラーコンデンサー、フレネルゾーンプレート、位相リング | |
検出器 | CCD 2,048×2,048ピクセル | |
外形寸法 | 2.3m(幅)×1.3m(奥行)×1.5m(高さ) | |
装置重量 | 2,000kg | |
試料ステージ耐荷重 | 1kg | |
ステージトラベル | 12mm(X軸)、10mm(Y軸)、12mm(Z軸) |
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製品の仕様は予告なく変更する場合があります。
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