ハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡｜ApexHybrid-200X線CT顕微鏡

基本情報

装置名: ApexHybrid-200

Sigray社が特許取得済みである独自の装置機構により、最高空間分解能400nm以下を実現。さらに、最大225㎜φまでのサンプルにおいてサブミクロンレベルの空間分解能を達成。

Sigray社製 X線顕微鏡のおもな特長

1台で直交CTと斜めCT（ラミノグラフィ）に対応、最高空間分解能400nm以下を達成

空間分解能チャートを用いて、斜入射モードでの空間分解能400nmのラインアンドスペース像です。
左図はチャートの全体像、右図はチャートの拡大画像です。

X線顕微鏡（XRM）によって、幅広いサンプルにおいて高コントラストでの測定が可能。

半導体バンプサンプルの比較画像です。空間分解能500nmのX線CT装置と比較して、ApexHybrid-200^TMでは、高い空間分解能により、斜めCT測定モードで検出されたバンプの欠陥が明瞭に観察出来ます。

Sigray社製 X線顕微鏡のソフトウェア

GigaRecon｜トモグラフィ再構成ソフトウェア

毎回、高品質な画像の生成が可能な比類のない特長と最速な再構成時間を組み合わせたトモグラフィ再構成ソフトウェア。2048x2048x2200データセットの再構成時間は45秒以下です。GigaReconは、市場では最速な逐次近似画像再構成を提供し、従来のFDK再構成と比較して、大幅にトモグラフィ測定時間を短縮可能で、5倍以上の短時間データ収集で、高品質な画像を生成します。