Apex XCT｜概要マイクロX線CT顕微鏡
基本情報
マイクロX線CT顕微鏡 Apex XCT 【NEW】
マイクロX線CT顕微鏡Apex XCTは、画期的な特許出願中の技術を用いて、数分間で、サブミクロン空間分解能の3次元像を撮像出来ます。半導体パッケージ、プリント基板、バッテリーセル、ウェーハのような幅広い平板状のサンプル測定に最適化されています。
おもな特長
Apex XCT
- 非破壊で、直径300mmサイズの試料を3Dイメージング可能
- 測定時間15分間で、空間分解能0.5µm
- ビームハードニングアーティファクトの無い画像
アプリケーション例
- 半導体部品（パッケージ、プリント基板、ウェーハ）
- 高機能材料（リチウムイオン電池、全固体電池、燃料電池など）
- ソフトマテリアル（炭素繊維、高分子材料、ゴムなど）
半導体部品の故障解析例
従来のCTでは、50時間以上の測定時間でも検出できない再配線層のき裂やボイドが、サブミクロンレベル空間分解能で、わずか30分間※で測定できます。
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※
サンプル試料に含まれる材料により、測定時間は変わります。
関連情報
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