マイクロマシン(MEMS)
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![ナノインプリントの夜明け。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/mems/image/keyvisual/750x750/mems-750x750.jpg?la=ja-JP&hash=C69FEAFC69B45F2F93995DC399353B7B)
今後ますます高度化するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を、半導体・LSI製造技術により培ったマイクロマシンニング技術を利用して、高精度で加工することのできる製造装置や、精密測定装置などをご用意しております。
今後ますます高度化するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を、半導体・LSI製造技術により培ったマイクロマシンニング技術を利用して、高精度で加工することのできる製造装置や、精密測定装置などをご用意しております。