犠牲層エッチング・コーティング装置｜製品ラインアップマイクロマシン（MEMS）
犠牲層エッチング・コーティング装置は、MEMSデバイスの製造工程において、犠牲膜を化学反応で除去し立体形状や可動構造を形成する装置です。
犠牲層エッチング・コーティング装置
memsstar®SVR™vHF
酸化膜犠牲層エッチング装置
memsstar®SVR™XeF2
シリコン系膜犠牲層エッチング装置
memsstar®SPD™
SAMコーティング装置
memsstar® 社の概要
| 社名 | memsstar® |
|---|---|
| 本社所在地 | Starlaw Park, Starlaw Road, Livingston, EH54 8SF, Scotland, United Kingdom |
| 責任者 | Tony McKie |
| 設立 | 2005年 |
| 事業案内 | MEMS製造装置の製造、販売、技術サポートおよびサービス。 |
| 主製品 | 犠牲層エッチング装置、SAMコーティング装置 |
| URL | ※ memsstar® はPoint 35 Microstructures Ltd.社の社内カンパニーです。 |
この商品に関するお問い合わせ
- キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 販売第二課
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