memsstar®SVR™vHF｜概要マイクロマシン（MEMS）
基本情報
- 装置名： memsstar®SVR™vHF
- 製造元： memsstar®Technology
特長
- 非プラズマでガスケミストリィを利用してエッチングする枚葉式ドライエッチング装置
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枚葉式ドライ処理方式
優れたタクトタイムを実現
微細加工を高速でダメージレス、良好な均一性・再現性のエッチングが可能
- アルコールフリープロセスによる優れたメンテナンス性を実現
- 広範なアプリケーションに対応可能なプロセスフレキシビリティーと優れたアンダーカット制御性
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多様なシステム構成
開発用の“Sentry”、量産用の“Multi”プラットフォームによる多様なシステム構成が可能
特に“Multi”プラットフォームではさまざまなプロセスモジュールを組み合せたインライン処理が可能
基本仕様
| ウエハーサイズ | 4～8インチおよび不定形 |
|---|---|
| ガスライン | 2ライン（HF, N2） |
| ウエハー温度制御 | 恒温チラー |