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optoSiCミラーデジタルガルバノスキャナー

ガルバノスキャナーモーターとの最適チューニングに対応 optoSiCⓇミラーシリーズ

基本情報

商品名
optoSiCミラーユニット

おもな特長

ガルバノスキャナーモーターGMシリーズ用のoptoSiCミラーユニットです。
独自の焼結炭化ケイ素により製造されており、急峻な動作でも最適な剛性、動的平面度、そして高共振周波数を提供します。

合成石英ミラーに比べてoptoSiCミラーは軽量高剛性のため性能が向上します。

  • 最大速度が最大約30%向上できます。※1
  • 整定時間が最大約30%短縮できます。※2
  • トラッキングエラーが最大約30%低減できます。※3
  • 従来より大型のミラーが搭載できます。
  • ※1
    トラッキングエラーを同条件として比較した場合。
  • ※2
    0.1度ステップ移動時の比較値
  • ※3
    最大速度を同条件として比較した場合。トラッキングエラーとは指令値と実際のスキャン動作の時間遅れのこと。

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