AttoMap™｜仕様蛍光X線分析装置

項目	仕様
モデル名	AttoMap-200	AttoMap-310
空間分解能	3～5µm以下（高分解能光学系） 7～10µm以下（標準光学系）
感度	相対感度サブppmでの追跡元素マッピング絶対感度ピコグラムからフェムトグラム（元素、収集時間による）
元素範囲	Na から U	B から U
最大サンプルサイズ	300mm×300mm	100mm×100mm 標準操作時、 30mm×30mm 斜入射角
ステージ移動	標準200mm×200mm 300mm×300mmまでアップグレード可能	標準100mm×100mm アップグレード可能
可変角度収集	通常入射（0度）とフリップステージ（70度）	0度から70度までの収集角度可変 0.01度刻み
回折線除去	デュアル検出器オプションにより可能	角度最適化により可能
X線源	Sigray社特許取得済み高輝度マイクロフォーカス	Sigray社特許取得済み高輝度マイクロフォーカス
管電力、管電圧、管電流	50W｜20-50kV｜2mA	100W｜20-50kV｜2mA
ターゲット材（最大5個まで）	Cr、Cu、Au、Mo、Rh、W	SiC、Rh、Cr、Cu、Au、Mo、W
X線光学系	Sigray社ツイン放物面X線光学系（各々のターゲット材に対応）
集光効率	～80％
倍率	1：1倍率標準：ご要望に応じて高分解能用の縮小光学系も選択可
コーティング	プラチナ（光学系の収集率が向上）
シリコンバックグラウンド	有	SiCにより、シリコンバックグラウンドを除去（半導体や鉱物学において重要）
X線検出器	シリコンドリフト検出器
エネルギー分解能	＜129eV at Mn-Ka
真空対応	ヘリウムフラッシュ	真空筐体
追加機能	光学顕微鏡とX線カメラを含む
装置サイズ	W 1372mm×D 978mm×H 1664mm