smartWLI nanoscan｜仕様光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー
基本仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 計測方法 | 垂直走査型低コヒーレンス干渉法※1 |
| 装置制御ソフトウエア | smartVIS 3D |
| 解析ソフトウエア | Mountains Map® |
| 高さ方向（Z）のスキャン機構 | ピエゾ |
| 高さ方向（Z）の最大スキャン範囲 | 100µm |
| extended スキャン範囲 | モータースキャン機構 200mm （オプション） |
| データ化 | 0.01pmまで |
| 実効分解能（システムノイズ）※2 | ＜0.03nm |
| 段差測定再現性 0.4µm段差（1σ） | ＜1nm |
| 段差測定再現性 12µm段差（1σ） | ＜3nm |
| センサー重量 | 約2kg |
| 湿度 | 80％以下 結露なきこと |
| 温度 | 10℃－35℃ |
| 電源 | 100-240VAC、50／60Hz |
カメラ仕様
| 高分解能5MPカメラ | |
|---|---|
| 最大解像度モード | 77Hz（2456×2054 pixel） |
| 1倍速スキャンスピード | 5.2µm／s |
| 5倍速スキャンスピード | 26µm／s |
| サブサンプリングモード | － |
| 1倍速スキャンスピード | － |
| 5倍速スキャンスピード | － |
| 中間ROIモード | 340Hz（2456×400 pixel） |
| 1倍速スキャンスピード | 22.8µm／s |
| 5倍速スキャンスピード | 114µm／s |
| 最小ROIモード | 2kHz（2456×2 pixel） |
| 1倍速スキャンスピード | 134µm／s |
| 5倍速スキャンスピード | 670µm／s |
| データ処理 | 最大10TFLOPSのGPGPU （general purpose graphic processing unit） を搭載し、3Dデータをリアルタイムに処理 |
|---|---|
| スキャンスピード | 1倍、3倍、5倍、7倍、11倍 |
| 高速プレスキャン機能搭載 | 「プレスキャン」機能により自動で最適なスキャンレンジを検出し、 複数の測定点でのスキャン時間を削減 |
対物レンズ仕様
| 倍率 | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | 115x |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 作動距離 （mm） |
10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2 | 0.7 |
| 視野角 （mm2） |
3.4×2.8 | 1.7×1.4 | 0.85×0.71 | 0.43×0.36 | 0.17×0.14 | 0.09×0.07 | 0.075×0.06 |
| 画素間隔 （µm） |
1.4 | 0.7 | 0.35 | 0.175 | 0.07 | 0.035 | 0.03 |
| 超解像度 （µm）※3 |
0.47 | 0.24 | 0.12 | 0.06 | 0.024 | 0.012 | 0.01 |
ステージ仕様
| 標準スタンド | |
|---|---|
| Z軸 粗動（マニュアル） | 70mm |
| Z軸 微動（マニュアル） | 1.9mm |
| Tip／Tilt（マニュアル） | ±3° |
| 横方向（X-Y）の移動、繋ぎ合わせ：標準X／Y ステージ | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | 仕様 | 耐荷重 | 分解能 | 真直度 | エンコーダー |
| 73×55mm2 | マニュアル | 1kg | |||
| 75×50mm2 | モーター駆動 | 1kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 100×100mm2 | モーター駆動 | 2kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 150×150mm2 | モーター駆動 | 3kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 200×200mm2 | モーター駆動 | 3kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 300×300mm2 | モーター駆動 | 5kg | 0.01µm | ＜5arcsec | オプション |
| 特注グラナイトポータルステージ | |
|---|---|
| X／Y X軸：門型コラム上 Y軸：テーブル上 |
モーター駆動 200×200mm2 モーター駆動 300×300mm2 |
| Tip／Tilt Y軸ステージ上 |
マニュアル ±3 度 モーター駆動 ±2.5 度 |
| Z軸 | モーター駆動 100mm |
標準スタンド・X／Yステージ
特注グラナイトポータルステージ
-
※
上図のセンサーはcompact
コントロールユニット
| 構成 |
|---|
|
|
|
|
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※1
垂直走査低コヒーレンス干渉法（CSI）として、ISO 25178-604で標準化された計測手法
白色干渉計と呼ばれることもある。
-
※2
gbs社はTopography reproducibilityとして定義
同一の試料を位相平均化なしで、2回測定し、2つの位相データの差分データのSq／√2の値
ただし、精密測定室の環境下、3×3画素のノイズフィルター使用、有効画素1MP程度
-
※3
解析ソフトウエアMountainsMap®（Digital Surf社）の機能。有効画素数を3倍にして、リアリティある微細形状を再現。
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