smartWLI nanoscan｜概要光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー
商品概要
ナノストラクチャーに代表されるようなサブµmサイズの微小構造などの評価に適したモデルです。
光学系、光源波長、カメラの組合せを最適化することで従来よりも高い解像度を実現しました。
また、高分解能・高精度なスキャナーを用いることで、測定再現性を向上させています。
基本情報
- 商品名
- smartWLI nanoscan
微小構造向け超高解像度モデル
空間波長検出限界 約0.4µm ＠115x
PTB（National Metrology of Institute of Germany）の解像度チャートの計測結果
ISO 25178-604 2.2.17 による空間波長検出限界の定義
「正弦波断面の計測高さの結果が実際高さの50％に低下する空間周期」
特長
- GPU（NVIDIA®等）の採用による高スループットを実現
- 高精細カメラ（5MP＠77Hz）を採用し、超解像度機能により画素間隔10nmを実現。
- 光学分解能0.29µm ＠115x, NA＝0.8, λ＝465nm
- 解析ソフトとして業界標準のMountainsMap®（Digital Surf社）を採用
- 高さ方向（Z）に100µmまでスキャニングが可能な高品質なスキャナーを搭載
- 0.03nmの実効分解能
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