LPR1016EUV露光計測装置
基本情報
- 装置名
- LPR-1016
- 製造元
- euv tech社（アメリカ）
おもな特長
“EUVマスク全自動反射率計 LPR1016”は、EUV露光用フォトマスクの反射率を自動測定する装置です。
本装置は、材料を何層にも重ねたEUV露光用フォトマスクの反射率を波長精度0.001ナノメートル、反射率精度0.3％以下の高い精度で検査することができます。
この分野では世界で初めて量産用装置として市販された装置で、最先端半導体の研究機関やデバイスメーカーの研究所に導入されています。
アプリケーション
適用デバイス
EUV露光用マスク
適用工程
EUV露光用マスク反射率測定（製品開発、品質管理）
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