受託体制石英ナノ加工（受託微細加工サービス）
保有設備一覧
主な所有設備
| プロセス分類 | 設備 | プロセス分類 | 設備 |
|---|---|---|---|
| フォトリソ関連 装置 |
コーター・デベロッパー | 切断装置 | ダイサー |
| KrFスキャニングステッパー | 2流体洗浄装置 | ||
| i線ステッパー | 計測関連装置 | 測長SEM／FE-SEM／EDS | |
| 両面アライナー | 光学顕微鏡 | ||
| マスクレス露光装置 | 自動座標測定機 | ||
| 成膜装置 | 熱酸化炉 | 共焦点顕微鏡 | |
| TEOS-CVD | 光干渉形状測定器 | ||
| スパッタ装置 | AFM | ||
| EB蒸着装置 | 触針式段差計 | ||
| エッチング装置 | RIE装置 | 回折効率測定装置 | |
| リフトオフ装置 | 光干渉式膜厚計 | ||
| プラズマ・アッシング装置 | 応力測定装置 | ||
| ウェットエッチング装置 | プローバー | ||
| ウェット洗浄装置 | パターン検査装置 | ||
| 接合装置 | 陽極接合装置 | 異物検査装置 | |
| 常温接合装置 | 全反射蛍光X線分析装置 | ||
| その他各種接合装置 | |||
受託加工の流れ
お問い合わせから量産化までのご相談・サポート体制
半導体プロセスで用いられる一連の加工設備や測定機器を保有。
自社内完結で短納期対応やお客様のご要望にお応えできます。
石英ナノ加工についてのご相談、お問い合わせ
キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 企画部 IoTビジョン営業課
石英ナノ加工についてのご相談、お問い合わせを承ります。
