受託体制石英ナノ加工(受託微細加工サービス)

保有設備一覧

主な所有設備

プロセス分類 設備 プロセス分類 設備
フォトリソ関連
装置
コーター・デベロッパー 計測関連装置 測長SEM/FE-SEM/EDS
KrFスキャニングステッパー 光学顕微鏡
i線ステッパー 自動座標測定機
両面アライナー 共焦点顕微鏡
マスクレス露光装置 光干渉形状測定器
成膜装置 熱酸化炉 AFM
TEOS-CVD 触針式段差計
スパッタ装置 回折効率測定装置
EB蒸着装置 光干渉式膜厚計
エッチング装置 RIE装置 応力測定装置
リフトオフ装置 プローバー
プラズマ・アッシング装置 パターン検査装置
ウェットエッチング装置 異物検査装置
ウェット洗浄装置 全反射蛍光X線分析装置
切断装置 ダイサー  
2流体洗浄装置  

受託加工の流れ

お問い合わせから量産化までのご相談・サポート体制

半導体プロセスで用いられる一連の加工設備や測定機器を保有。
自社内完結で短納期対応やお客様のご要望にお応えできます。

半導体プロセスで用いられる一連の加工設備や測定機器を保有。自社内完結で短納期対応やお客様のご要望にお応えできます。

石英ナノ加工についてのご相談、お問い合わせ

キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 企画部 IoTビジョン営業課

石英ナノ加工についてのご相談、お問い合わせを承ります。

電話でのお問い合わせ

土日祝日と年末年始弊社休業日は休ませていただきます。

ウェブサイトからのお問い合わせ