memsstar®SPD™|概要マイクロマシン(MEMS)
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![Surface Preparation and Deposition SAMコーティング装置 memsstar®SPD™](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/mems/lineup/memsstar/spd/image/keyvisual/750x750/spd-750x750.jpg?la=ja-JP&hash=B1FE17B515E3FDA1E970C9D1B4B431B2)
基本情報
- 装置名: memsstar®SPD™
- memsstar®Technology
特長
- リモートプラズマによるウエハー表面処理とSAM(Self Assembled Monolayer)コーティング装置
- 撥水性、親水性それぞれ各種プリカーサに対応
- 枚葉式による優れたタクトタイムを実現
-
多様なシステム構成
開発用の“Solo”、“Sentry”、量産用の“Multi”プラットフォームによる多様なシステム構成が可能
特に“Multi”プラットフォームではさまざまなプロセスモジュールを組み合せたインライン処理が可能
犠牲層エッチングとコーティングを大気に曝すことなく連続処理が可能であり、安定したコーティング膜が形成可能
基本仕様
ウエハーサイズ | 4~8インチおよび不定形 |
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ガスライン | 3ライン(撥水性或いは親水性x1, O2, N2) |
プラズマ源 | 低周波リモートプラズマ |