mattson Suprema cXP|概要プラズマアッシング装置
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![量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置 Suprema cXP](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/mattson/lineup/ashing/suprema/image/keyvisual/750x750/suprema-750x750.jpg?la=ja-JP&hash=640474EC78AA716EAD97143B3AFFFAEA)
基本情報(商品構成)
![](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/mattson/lineup/ashing/suprema/image/suprema-cxp.jpg?h=222&la=ja-JP&w=360&hash=03DA159B99879C865E119996B7233E4F)
- 装置名
- mattson Suprema cXP
- 製造元
- Mattson Technology
特長
最先端プロセス、300mm量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置
- mattson独自の搬送システムにより、最速300枚/時間以上のハイスループットを実現。
- 従来型Supremaと比べ30%のフットプリントを削減し、更なる低CoOを実現。
- Uptime 93%以上(市場実績)を実現するSupremaプラットフォームを踏襲。
- チャンバのメンテナンス簡易化によるダウンタイムの削減。
- 豊富なアプリケーションへの対応。
基本仕様
プラズマ方式 | ICP |
---|---|
ウエハーサイズ | ø12″ |
排気系 |
ドライポンプ 4式 |
スループット | 360WPH(1um,Over Ash 50%) |
パワーソース | 13.56MHz(Max:5 kW) |
ステージ温度 | ~300℃ |
アプリケーション | バルクアッシング 残渣除去(STIエッチ、ポリゲート、コンタクト、ヴィア) 高ドーズインプラ後のアッシング ポリイミド リワーク ディスカム レジストリセス Cuパッシベーション Wet処理前親水化 |
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