mattson Suprema cXP｜概要プラズマアッシング装置
基本情報（商品構成）
- 装置名
- mattson Suprema cXP
- 製造元
- Mattson Technology
特長
最先端プロセス、300mm量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置
- mattson独自の搬送システムにより、最速300枚／時間以上のハイスループットを実現。
- 従来型Supremaと比べ30％のフットプリントを削減し、更なる低CoOを実現。
- Uptime 93％以上（市場実績）を実現するSupremaプラットフォームを踏襲。
- チャンバのメンテナンス簡易化によるダウンタイムの削減。
- 豊富なアプリケーションへの対応。
基本仕様
| プラズマ方式 | ICP |
|---|---|
| ウエハーサイズ | ø12″ |
| 排気系 |
ドライポンプ 4式 |
| スループット | 360WPH（1um，Over Ash 50％） |
| パワーソース | 13.56MHz（Max：5 kW） |
| ステージ温度 | ～300℃ |
| アプリケーション | バルクアッシング 残渣除去（STIエッチ、ポリゲート、コンタクト、ヴィア） 高ドーズインプラ後のアッシング ポリイミド リワーク ディスカム レジストリセス Cuパッシベーション Wet処理前親水化 |
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