mattson Suprema cXP|概要プラズマアッシング装置

量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置 Suprema cXP

基本情報(商品構成)

装置名
mattson Suprema cXP
製造元
Mattson Technology

特長

最先端プロセス、300mm量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置

  • mattson独自の搬送システムにより、最速300枚/時間以上のハイスループットを実現。
  • 従来型Supremaと比べ30%のフットプリントを削減し、更なる低CoOを実現。
  • Uptime 93%以上(市場実績)を実現するSupremaプラットフォームを踏襲。
  • チャンバのメンテナンス簡易化によるダウンタイムの削減。
  • 豊富なアプリケーションへの対応。

基本仕様

プラズマ方式 ICP
ウエハーサイズ ø12″
排気系

ドライポンプ 4

スループット 360WPH(1um,Over Ash 50%)
パワーソース 13.56MHz(Max:5 kW)
ステージ温度 ~300℃
アプリケーション バルクアッシング
残渣除去(STIエッチ、ポリゲート、コンタクト、ヴィア)
高ドーズインプラ後のアッシング
ポリイミド リワーク
ディスカム
レジストリセス
Cuパッシベーション
Wet処理前親水化

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