MAS-8220AT|概要プラズマエッチング・アッシング装置
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![高生産性と省スペースを提供する低CoOのプラズマエッチング・アッシング装置 MAS-8220AT](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/mas/lineup/mas8220/shared/image/keyvisual/750x750/mas8220-750x750.jpg?la=ja-JP&hash=A72D9FB3441BC8CCD4B79A661B24ACD4)
基本情報
![MAS-8220AT](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/mas/lineup/mas8220/image/index-img.jpg?h=222&la=ja-JP&w=360&hash=182DBE98B59BDD68665C05432F54CA3B)
- 装置名
- MAS-8220AT
主な特長
高生産性と省スペースを両立したプラズマエッチング・アッシング装置
- オールインワン構造によるトータルフットプリント27%削減(MAS-8220比較)
- 最新型サーボモータロボット搭載によるメカニカルスループット20%向上(MAS-8220比較)
- 新設計ユニット搭載による消費電力20%削減(MAS-8220比較)
- 長期供給保証PCの採用(GUI-OS Windows7 Embedded)
- 独立した2式のプロセスチャンバと高速多関節ロボットにより、多彩で高速な搬送シーケンスに対応。
- ハイレート、ハイドーズ、ディスカムなどの多種レジストアッシング工程に対応。
- SiO2、ポリシリコン、SiNなどの等方性エッチング工程、RFプラズマ方式を用いての異方性エッチング工程に対応可能。
- マイクロ波+RFバイアス印加を標準オプションとして対応。高速エッチングが可能となります。
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