MAS-8220AT|概要ハイスループットアッシング・エッチング装置


基本情報

- 装置名
- MAS-8220AT
主な特長
高生産性と省スペースを両立した最新型ハイスループットアッシング・エッチング装置
- オールインワン構造によるトータルフットプリント27%削減(MAS-8220比較)
- 最新型サーボモータロボット搭載によるメカニカルスループット20%向上(MAS-8220比較)
- 新設計ユニット搭載による消費電力20%削減(MAS-8220比較)
- 長期供給保証PCの採用(GUI-OS Windows7 Embedded)
- 独立した2式のプロセスチャンバと高速多関節ロボットにより、多彩で高速な搬送シーケンスに対応。
- ハイレート、ハイドーズ、ディスカムなどの多種レジストアッシング工程に対応。
- SiO2、ポリシリコン、SiNなどの等方性エッチング工程、RFプラズマ方式を用いての異方性エッチング工程に対応可能。
- マイクロ波+RFバイアス印加を標準オプションとして対応。高速エッチングが可能となります。