MAS-8220AT|概要ハイスループットアッシング・エッチング装置

高生産性と省スペースを提供する低CoO値のハイスループットアッシング・エッチング装置 MAS-8220AT

基本情報

MAS-8220AT
装置名
MAS-8220AT

主な特長

高生産性と省スペースを両立した最新型ハイスループットアッシング・エッチング装置

  • オールインワン構造によるトータルフットプリント27%削減(MAS-8220比較)
  • 最新型サーボモータロボット搭載によるメカニカルスループット20%向上(MAS-8220比較)
  • 新設計ユニット搭載による消費電力20%削減(MAS-8220比較)
  • 長期供給保証PCの採用(GUI-OS Windows7 Embedded)
  • 独立した2式のプロセスチャンバと高速多関節ロボットにより、多彩で高速な搬送シーケンスに対応。
  • ハイレート、ハイドーズ、ディスカムなどの多種レジストアッシング工程に対応。
  • SiO2、ポリシリコン、SiNなどの等方性エッチング工程、RFプラズマ方式を用いての異方性エッチング工程に対応可能。
  • マイクロ波+RFバイアス印加を標準オプションとして対応。高速エッチングが可能となります。