MAS-8220AT／MAS-8220TPプラズマエッチング・アッシング装置

Microwave Asing System MAS-8220AT／MAS-8220TP 抜群の実績と信頼性。プラズマプロセスへのトータルソリューション。

プラズマエッチング・アッシング装置について

MASシリーズは、パワー半導体、RF高周波デバイス、SAW／BAWフィルター、化合物半導体、MEMS等の多岐にわたる半導体デバイス加工に対応するエッチャー、アッシャーになります。
お客さまのご要望に寄り添い、プラズマプロセスの最適なトータルソリューションをご提供いたします。

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 営業第二課

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