MAS-8220AT/MAS-8220TPプラズマエッチング・アッシング装置


プラズマエッチング・アッシング装置について
MASシリーズは、パワー半導体、RF高周波デバイス、SAW/BAWフィルター、化合物半導体、MEMS等の多岐にわたる半導体デバイス加工に対応するエッチャー、アッシャーになります。
お客さまのご要望に寄り添い、プラズマプロセスの最適なトータルソリューションをご提供いたします。
商品一覧
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プラズマエッチング・アッシング装置
MAS-8220 AT高生産性と省スペースを両立した200mmプラズマエッチング・アッシング装置のベストセラー機 -
プラズマエッチング・アッシング装置
MAS-8220 TPMAS-8220ATの上位モデル
さらなる微細なエッチングを低コストで実現した200mmプラズマエッチング・アッシング装置
新着情報
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2014年2月4日新製品MAS-8220ATを掲載いたしました。
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2012年12月28日
プラズマエッチング・アッシング装置についてのご相談、お問い合わせ
キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 営業第二課
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