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MAS-8220TP｜概要プラズマエッチング・アッシング装置

さらなる微細なエッチングを低コストで実現する低CoOのプラズマエッチング・アッシング装置 MAS-8220TP

基本情報

装置名
MAS-8220TP

主な特長

高生産性と省スペースを両立し、さらなる微細なエッチングを低コストで実現した最新型プラズマエッチング・アッシング装置

MAS-8220ATとの主な違い

  1. ゾーン温度コントロールステージにより、ウエーハセンター／エッジのレートコントロールが可能。
  2. より幅広いプロセス圧力レンジを実現し、さらなるフレキシブルなレシピ構築が可能。
  • 「MAS-8220AT」で対応可能であった工程に加え、新たにハイエンドなプロセスである異方性エッチング工程も対応可能。
    例：タングステンエッチバック工程／バリアメタル異方性エッチング工程／Pad異方性エッチング工程
  • 前モデル「MAS-8220」 「MAS-8220AT」とプロセス互換性あり。
  • 装置構成部材・ガス種を一部変更する事によりエッチング・アッシングのどちらの工程にも対応可能。
  • 独立した2式のチャンバーと高速多関節ロボットの採用によって、多彩で高速な搬送シーケンスに対応。
  • 装置本体の両側面にメンテナンススペースが不要。MAS装置複数台の横づけ設置が可能。

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