ガルバノスキャナーは、主にレーザー光を反射する「ミラー」と、ミラーを回転させる「モーター」、モーターの回転角度・速度を制御する「ドライバー」で構成されています。使用するレーザー光の波長や太さによって、ミラーのコーティングや大きさ、モーターの大きさ・回転力などが決められます。モーターには、ミラーの回転角度を検出するためのエンコーダーが備えられており、エンコーダーから得られる位置信号、コントローラーからの指令信号をもとに、ドライバーがモーターの動きを制御します。ガルバノスキャナーは一般的に、X軸用・Y軸用の2つのミラーとモーターを組み合わせて使います。2軸それぞれを適切な角度に制御することで、2次元平面上の狙った位置にレーザー光を照射させる仕組みです。原理は非常にシンプルですが、それぞれの要素に非常に高い精度・性能が求められます。