smartWLI Cylinderinspector3D|仕様光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー

基本仕様

項目 仕様
計測方法 垂直走査型低コヒーレンス干渉法※1
装置制御ソフトウエア smartVIS 3D
解析ソフトウエア Mountains Map®
光軸方向のスキャン機構 ピエゾ
光軸方向の最大スキャン範囲 200µm
データ化 0.01pmまで
実効分解能(システムノイズ)※2 <1nm
段差測定再現性 12µm段差(1σ) <3nm
センサー重量 約16kg
湿度 80%以下 結露なきこと
温度 10℃-35℃
電源 100-240VAC、50/60Hz

カメラスピード仕様

高分解能4MPカメラ
解像度 2000×2000 88Hz
最大カメラスピード 2kHz

対物レンズ仕様

倍率 5x 10x 20x 50x 100x
作動距離(mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 2
視野角(mm2 2.8×2.8 1.4×1.4 0.7×0.7 0.28×0.28 0.14×0.14
画素間隔(µm) 1.4 0.7 0.35 0.14 0.07

ステージ仕様

項目 仕様
ボア径 70-125mm
手動タイプ ストローク方向 最大 188nm
手動タイプ ストローク方向(オプション) 最大 270nm
電動タイプ ストローク方向 最大 200mm

コントロールユニット

構成
  • PC Windows10 OS
  • 装置制御ソフトウエア smartVIS3D
  • 解析ソフトウエア MountainsMap®
  • スキャン装置コントローラー
  • LED光源コントローラー
  • ステージコントローラー
  • ※1.
    垂直走査低コヒーレンス干渉法(CSI)として、ISO 25178-604で標準化された計測手法
    白色干渉計と呼ばれることもある。
  • ※2.
    gbs社はTopography reproducibilityとして定義
    同一の試料を位相平均化なしで、2回測定し、2つの位相データの差分データのSq/√2の値
    ただし、精密測定室の環境下、3×3画素のノイズフィルター使用、有効画素1MP程度

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 第二営業本部 営業部 営業第一課

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