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スパッタリング装置
生産性と膜質を両立するバッチ式スパッタリング装置
R&Dから量産まで共通プラットフォームで対応可能なクラスター型スパッタリング装置
蒸着装置
独自ハードとソフトにより高均一性を実現する蒸着装置
キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 販売第二課
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