LPR1016EUV露光計測装置
![](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/euv/lineup/lpr-1016/image/keyvisual/750x750/lpr-1016-750x750-wide.jpg?la=ja-JP&hash=4BA53292EDDAD7D787E7D314B7799B13)
![EUV露光用フォトマスクの反射率を自動測定する LPR-1016](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/euv/lineup/lpr-1016/image/keyvisual/750x750/lpr-1016-750x750.jpg?la=ja-JP&hash=F24A1A6914982469A525EC99D645D316)
基本情報
![LPR-1016](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/euv/lineup/lpr-1016/image/lpr-1016-img.jpg?h=222&la=ja-JP&w=360&hash=9D509D447579E93A296E3A3F55F1A5F9)
- 装置名
- LPR-1016
- 製造元
- euv tech社(アメリカ)
おもな特長
“EUVマスク全自動反射率計 LPR1016”は、EUV露光用フォトマスクの反射率を自動測定する装置です。
本装置は、材料を何層にも重ねたEUV露光用フォトマスクの反射率を波長精度0.001ナノメートル、反射率精度0.3%以下の高い精度で検査することができます。
この分野では世界で初めて量産用装置として市販された装置で、最先端半導体の研究機関やデバイスメーカーの研究所に導入されています。
アプリケーション
適用デバイス
EUV露光用マスク
適用工程
EUV露光用マスク反射率測定(製品開発、品質管理)
EUV露光計測装置についてのご相談、お問い合わせ
キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 営業第一課
Webサイトからのお問い合わせ
EUV露光計測装置についてのご相談、お問い合わせを承ります。
03-3740-3390
受付時間:平日 9時00分~17時30分
※土・日・祝日・年末年始弊社休業日は休ませていただきます。