Trim 200イオンビームミリング・トリミング装置
基本情報
- 装置名
- Trim 200
- 製造元
- scia systems GmbH
おもな特長
-
トリミング処理により均一性向上及び膜質特性改善
- 角度、深さを変化させたグレイチング加工
- 独自のシュミレーションソフトによるレシピで精度の高い実加工
商品仕様
- Angle Range
- -45～45°
- Etch Rate／SiO2
-
5～15×10^（−3） mm^3／min
- Uniformity
- ＜ 1％ sigma ／30×30mm^2
- 可能ガス
-
Ar,N2,O2,He,CHF3,SF6,CF4
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