ターゲットガス別ケミカルフィルター
工場でのターゲットガス
ターゲットガスの種類
| 分類 | 濾材 | 物質名 | 影響例 |
|---|---|---|---|
| 酸性物質 （Acid） |
イオン交換繊維 イオン交換樹脂 |
硫黄酸化物（SOx）、窒素酸化物（NOx）、フッ化水素（HF）、塩化水素（HCl）、硝酸（HNO3）、硫酸（H2SO4）、リン、ボロン など |
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| 塩基性物質 （Base） |
アンモニア、アミン類、HMDS など |
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| 凝縮性有機物質 （Condensable） |
活性炭 | シロキサン類、フタル酸ジオクチル（DOP）、フタル酸ジブチル（DBP）、リン酸トリエチル（TEP）、リン酸トリブチル（TBP）、オゾン（O3）など |
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空気中の分子状化学汚染物質（AMC：Airborne Molecular Contaminant）はSEMIやSEMATECHにおいて上記に分類されます。
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