EQUIPE AXM 400|概要大気搬送用ロボット/プリアライナー
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![高性能ウエハ大気搬送ロボットEQUIPE AXM 400](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/milara/lineup/equip-400/image/equip-400-750x464.jpg?la=ja-JP&hash=E1744445EE98635459F09DCA4D0DBC94)
基本情報(商品構成)
![](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/milara/lineup/equip-400/image/equip-400.jpg?h=222&la=ja-JP&w=360&hash=9AF81DE0BFCDC11A80F60DACE50075DA)
- 機種名
- EQUIPE AXM 400
- 製造元
- Milara Inc.
特長
高性能大気搬送ロボット
- 低慣性設計により、クローズドループDCサーボシステム内で感度ロスのない高速動作が可能。
- 高い繰り返し精度を実現。
- クラス1クリーンルーム対応。
基本仕様
ウエハサイズ | ≦200mm |
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積載重量 | 404,405,407:0.5kg 407B:0.8kg 407C:2kg |
重量 | 28kg |
スループット | <4 seconds/wafer/pick and place(transfer). |
設備要件 | Vacuum 18–24 inches Hg, Power 100–240 VAC, 50/60 Hz. |
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