DBM Atmospheric Robot｜概要大気搬送用ロボット／プリアライナー
基本情報（商品構成）
- 機種名
- DBM Atmospheric Robot
- 製造元
- Milara Inc.
特長
高性能大気搬送ロボット
- 高スループット。
- 高い繰り返し精度を実現。
- 360°フルθ回転によりデッドゾーンを排除
- クラス1クリーンルーム対応。
基本仕様
| ウエハサイズ | 200mm – 300mm |
|---|---|
| 積載重量 | 0.5kg（each arm） |
| 重量 | 41kg |
| スループット | ≤ 3 seconds／per wafer swaps. |
| 設備要件 | Vacuum 18-24 inches Hg, Power 100–240 VAC, 50／60 Hz. |
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