光学式インクリメンタル方式のエンコーダー
概要
キヤノン独自の超精密光学技術を活かした高精度回転角度センサーです。光源に半導体レーザーを採用した回折光干渉方式により、超小型化と高パルスの両立を実現しました。ロボット分野、工作機械分野、計測機分野など幅広い分野で高精度な計測・制御を可能にします。
製品ラインアップ
製品特長
- R-1SO／R-1SLは、外形Φ36mmで81,000パルス（逓倍前）、累積誤差（絶対誤差）20秒を実現。
- M-1Sは、2MHzの超高速応答で、累積誤差（絶対誤差）25秒を実現。
- 高精度・高安定を実現するための独自の光学系を使用。
原理
図のようにグレーティングディスクの回転中心に対し、点対称な2点にレーザー光を入射すると、レーザー光はグレーティングディスクにより回折されます。
この回折光の片側は＋1次の回折光を、もう一方の側は－1次回折光を利用します。
左右各々の±1次回折光は、グレーティングディスクの1ピッチ回転により、位相が各々±2π変化します。
この±1次の回折光を左右のミラーで反射させグレーティングディスクに往復に入射させると、位相は±4π変化します。
この往復±1次1回折光を干渉させることにより4周期の明暗変化になり、グレーティングディスクの1ピッチ回転で4個の正弦波信号が得られます。
応用例
ロボットアームの高精度
角度検出・制御
角度検出・制御
検査装置用角度センサー
NCマシン用センサー
