ターゲットガス別ケミカルフィルター
![](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/gemvax-kael/lineup/shared/keyvisual/750x750/gemvax-kael-lineup-750x750-wide.jpg?la=ja-JP&hash=E9FF33D8F91E95B73A358E6EC6EFA146)
![お客様の要望に応じた最適なフィルターをご提案します。](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/gemvax-kael/lineup/shared/keyvisual/750x750/gemvax-kael-lineup-750x750.jpg?la=ja-JP&hash=55AE58583FBA9BEF02111A09D28B43E0)
工場でのターゲットガス
![各フロアのMA:酸性物質、MB:塩基性物質、MC:凝縮性物質、MD:ドーパント、オゾン、揮発性有機化合物などが、それぞれの種類に合わせた外調機やフィルターを通してろ過されます。](/-/media/Project/Canon/CanonJP/Website/business/solution/indtech/gemvax-kael/lineup/gus/image/gus-index.png?h=512&la=ja-JP&w=880&hash=06BEFC1476C0948C4F2F5593FD7CFA07)
ターゲットガスの種類
分類 | 濾材 | 物質名 | 影響例 |
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酸性物質 (Acid) |
イオン交換繊維 イオン交換樹脂 |
硫黄酸化物(SOx)、窒素酸化物(NOx)、フッ化水素(HF)、塩化水素(HCl)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)、リン、ボロン など |
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塩基性物質 (Base) |
アンモニア、アミン類、HMDS など |
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凝縮性有機物質 (Condensable) |
活性炭 | シロキサン類、フタル酸ジオクチル(DOP)、フタル酸ジブチル(DBP)、リン酸トリエチル(TEP)、リン酸トリブチル(TBP)、オゾン(O3)など |
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空気中の分子状化学汚染物質(AMC:Airborne Molecular Contaminant)はSEMIやSEMATECHにおいて上記に分類されます。
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