EQUIPE AXM 100｜概要大気搬送用ロボット／プリアライナー
基本情報（商品構成）
- 機種名
- EQUIPE AXM 100
- 製造元
- Milara Inc.
特長
コンパクトな高性能大気搬送ロボット
- コンパクトな設置面積。
-
高い繰り返し精度を実現。
- クラス1クリーンルーム対応。
基本仕様
| ウエハサイズ | ≦200mm |
|---|---|
| 積載重量 | 0.5kg |
| ウエハセンサー | Vacuum, Laser Cassette Mapping Optional. |
| モータータイプ | Brushless, low inertia high response |
| 重量 | 13kg |
| スループット | ＜4 seconds／wafer／pick and place（transfer）. |
| 設備要件 | Vacuum 18-24 inches Hg, Power 100–240 VAC, 50／60 Hz. |
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