EQUIPE AXM 400｜概要大気搬送用ロボット／プリアライナー
基本情報（商品構成）
- 機種名
- EQUIPE AXM 400
- 製造元
- Milara Inc.
特長
高性能大気搬送ロボット
- 低慣性設計により、クローズドループDCサーボシステム内で感度ロスのない高速動作が可能。
- 高い繰り返し精度を実現。
- クラス1クリーンルーム対応。
基本仕様
| ウエハサイズ | ≦200mm |
|---|---|
| 積載重量 | 404,405,407：0.5kg 407B：0.8kg 407C：2kg |
| 重量 | 28kg |
| スループット | ＜4 seconds／wafer／pick and place（transfer）. |
| 設備要件 | Vacuum 18–24 inches Hg, Power 100–240 VAC, 50／60 Hz. |
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