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Diamond E5 Vacuum Elevator|概要大気搬送用ロボット/プリアライナー

高性能真空搬送エレベータ DIAMOND E5 VACUUM ELEVATOR

基本情報(商品構成)

機種名
Diamond E5
製造元
Milara Inc.

特長

高性能真空エレベーター

  • 超低イナーシャ、高応答ブラシレスサーボモータを採用。
  • ゼロバックラッシ・ハーモニックドライブ® ギアにより高精度を実現。
  • クラス1クリーンルーム対応。

基本仕様

駆動範囲 335mm
最大速度・最大加速度 200mm/sec.・300mm/sec.2
エンコーダー Incremental, 10,000 pulse/rev on motor shaft
モータータイプ Brushless, low inertia high response
重量 21kg
動作温度 真空:Up to 100℃ 大気:10℃ to 40℃

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