mattson Millios Rapid Thermal Annealer｜概要高性能ランプアニーリング装置
基本情報（商品構成）
- 装置名
- mattson Millios
- 製造元
- Mattson Technology
特長
32nmプロセス以降の次世代デバイス向け高速アニーリング装置
- フラッシュランプを採用、ミリsecオーダーでの高速アニール技術。
- 量産工場における高生産信頼性を実現する、リアルタイム温度モニター。
- 同一装置内でスパイクアニールとのプロセスインテグレーションを実現。
- 55枚／時（標準プロセス）のスループットを実現する高い生産性。
-
多様なプロセスアプリケーションの提供
- S／DのExtensionの活性化
- ゲート空乏層の低減
- Poly-Siのグレインサイズコントロールなど
基本仕様
| ウエハーサイズ | 300mm |
|---|---|
| 適応プロセス温度 | Intermediate temp：700～1000℃ Flash lamp temp：＋550℃ |
| 昇温レート | Lower lamp：50～150 ℃／s Flash lamp：1E5℃／s以上 |
| 熱処理設定時間 | 10sec以下 （スパイクアニール＋ミリ秒アニールの連続処理が可能） |
| 温度制御 | 表面：Ultra-fast radiometer 裏面：Ultra-fast radiometer ＋ Integrated emissometer for real time emissivity compensation″ |
| ガスライン | 標準2系統 |