smartWLI extended range｜仕様光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー
基本仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 計測方法 | 垂直走査型低コヒーレンス干渉法※1 |
| 装置制御ソフトウエア | smartVIS 3D |
| 解析ソフトウエア | Mountains Map® |
| 高さ方向（Z）のスキャン機構 | モーター |
| 高さ方向（Z）の最大スキャン範囲 | 5000µm |
| extended スキャン範囲 （オプション） |
モータースキャン機構 200mm（オプション） |
| データ化 | 0.01pmまで |
| 実効分解能（システムノイズ）※2 | ＜5nm（5MP カメラ）／＜7nm（2.3MP カメラ） |
| 段差測定再現性 0.4µm段差（1σ） | ＜1nm |
| 段差測定再現性 12µm段差（1σ） | ＜3nm |
| 段差測定再現性 100µm段差（1σ） | ＜20nm |
| センサー重量 | 約2kg |
| 湿度 | 80％以下 結露なきこと |
| 温度 | 10℃－35℃ |
| 電源 | 100-240VAC、50／60Hz |
カメラ仕様
| 高速2.3MPカメラ | 高分解能5MPカメラ | |
|---|---|---|
| 最大解像度モード | 169Hz（1920×1200 pixel） | 77Hz（2456×2054 pixel） |
| 1倍速スキャンスピード | 11.4µm／s | 5.2µm／s |
| 5倍速スキャンスピード | 56µm／s | 26µm／s |
| サブサンプリングモード | 533Hz（960×600 pixel） | － |
| 1倍速スキャンスピード | 35.7µm／s | － |
| 5倍速スキャンスピード | 178.5µm／s | － |
| 中間ROIモード | 1.4kHz（400×400 pixel） | 340Hz（2456×400 pixel） |
| 1倍速スキャンスピード | 93.8µm／s | 22.8µm／s |
| 5倍速スキャンスピード | 469µm／s | 114µm／s |
| 最小ROIモード | 3.2kHz（1920×36 pixel） | 2kHz（2456×2 pixel） |
| 1倍速スキャンスピード | 214.4µm／s | 134µm／s |
| 5倍速スキャンスピード | 1,072µm／s | 670µm／s |
| データ処理 | 最大10TFLOPSのGPGPU （general purpose graphic processing unit） を搭載し、3Dデータをリアルタイムに処理 |
|---|---|
| スキャンスピード | 1倍、3倍、5倍、7倍、11倍 |
| 高速プレスキャン機能搭載 | 「プレスキャン」機能により自動で最適なスキャンレンジを検出し、 複数の測定点でのスキャン時間を削減 |
対物レンズ仕様
| 倍率 | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | 115x | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 作動距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2 | 0.7 | |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 | 0.8 | |
| 高速2.3MP カメラ |
視野角 （mm2） |
7.3×4.6 | 3.7×2.3 | 1.8×1.2 | 0.91×0.58 | 0.37×0.23 | 0.18×0.12 | 0.16×0.1 |
| 画素間隔 （µm） |
3.8 | 1.9 | 0.96 | 0.48 | 0.19 | 0.1 | 0.08 | |
| 超解像度 （µm）※3 |
1.27 | 0.63 | 0.32 | 0.16 | 0.063 | 0.033 | 0.027 | |
| 高分解能5MP カメラ |
視野角 （mm2） |
6.8×5.7 | 3.4×2.8 | 1.7×1.4 | 0.85×0.71 | 0.34×0.28 | 0.17×0.14 | 0.15×0.12 |
| 画素間隔 （µm） |
2.8 | 1.4 | 0.69 | 0.35 | 0.14 | 0.07 | 0.06 | |
| 超解像度 （µm） |
0.94 | 0.47 | 0.23 | 0.12 | 0.047 | 0.023 | 0.02 | |
ステージ仕様
| 標準スタンド | |
|---|---|
| Z軸 粗動（マニュアル） | 70mm |
| Z軸 微動（マニュアル） | 1.9mm |
| Tip／Tilt（マニュアル） | ±3° |
| 横方向（X-Y）の移動、繋ぎ合わせ：標準X／Y ステージ | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | 仕様 | 耐荷重 | 分解能 | 真直度 | エンコーダー |
| 73×55mm2 | マニュアル | 1kg | |||
| 75×50mm2 | モーター駆動 | 1kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 100×100mm2 | モーター駆動 | 2kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 150×150mm2 | モーター駆動 | 3kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 200×200mm2 | モーター駆動 | 3kg | 0.01µm | ＜10arcsec | オプション |
| 300×300mm2 | モーター駆動 | 5kg | 0.01µm | ＜5arcsec | オプション |
| 特注グラナイトポータルステージ | |
|---|---|
| X／Y X軸：門型コラム上 Y軸：テーブル上 |
モーター駆動 200×200mm2 モーター駆動 300×300mm2 |
| Tip／Tilt Y軸ステージ上 |
マニュアル ±3 度 モーター駆動 ±2.5 度 |
| Z軸 | モーター駆動 100mm |
標準スタンド・X／Yステージ
特注グラナイトポータルステージ
-
※
上図のセンサーはcompact
コントロールユニット
| 構成 |
|---|
|
|
|
|
-
※1
垂直走査低コヒーレンス干渉法（CSI）として、ISO 25178-604で標準化された計測手法
白色干渉計と呼ばれることもある。
-
※2
gbs社はTopography reproducibilityとして定義
同一の試料を位相平均化なしで、2回測定し、2つの位相データの差分データのSq／√2の値
ただし、精密測定室の環境下、3×3画素のノイズフィルター使用、有効画素1MP程度 -
※3
解析ソフトウエアMountainsMap®（Digital Surf社）の機能。有効画素数を3倍にして、リアリティある微細形状を再現。
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