smartWLI extended｜概要光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー
商品概要
最大5M画素カメラ・GPU（NVIDIA®等）の採用により、高精細・高スループットな測定を実現した、光学式3次元表面プロファイラーです。手動4ポジションタレット装着により対物レンズの切り替えが可能であり、幅広い測定対象物に1台で対応可能なラボ向け汎用モデルです。
基本情報
- 商品名
- smartWLI extended
手動4ポジションタレット搭載のラボ向け汎用モデル
W1 ＜ 0.3µm
試料が矩形波である場合、底面を深さとして計測出来る最小幅
試料が矩形波である場合、底面を深さとして計測出来る最小幅
特長
- 手動4ポジションタレット搭載
- GPU（NVIDIA®等）の採用による高スループットを実現
- 高精細カメラ（5MP＠77Hz）orハイスピードカメラ（2.3MP＠169Hz）の選択可能
- 解析ソフトとして業界標準のMountainsMap®（Digital Surf社）を採用
- 高さ方向（Z）に400µmまでスキャニングが可能な高品質なスキャナーを搭載
- 0.1nm（5MP）、0.15nm（2.3MP）の実効分解能
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キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部 第二営業本部 営業部 営業第一課
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