GM-1000Aシリーズ ｜製品仕様デジタルガルバノスキャナー
システム性能
| GM-1005 | GM-1010A | GM-1015A | GM-1020A | |
|---|---|---|---|---|
| 適合ビーム径 | Φ3～5mm | Φ8～10mm | Φ10～15mm | Φ15～30mm |
| スキャン角度 | ±30° | ±20° | ||
| エンコーダパルス数※1 | 2,949,120パルス／1回転 | 8,192,000パルス／1回転 | 12,288,000パルス／1回転 | |
| 指令分解能 | 2.13μrad | 0.77μrad | 0.51μrad | |
| 位置再現性（p-p）※2 | 5μrad | 3μrad | ||
| 原点位置再現性※2 | 6μrad | 3μrad | ||
| トラッキングエラー※3 | 120μsec | 130μsec | 220μsec | 320μsec |
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※
角度表記はすべて機械角です
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※1
GCドライバー使用時
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※2
環境温度一定、短時間、GCドライバー使用時
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※3
当社チューニング条件時
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※4
0.1°（機械角）ステップ移動、10％整定幅、当社標準ミラー装着時
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