Diamond H5 Wafer Handling Robot｜概要大気搬送用ロボット／プリアライナー
基本情報（商品構成）
- 機種名
- Diamond H5
- 製造元
- Milara Inc.
特長
高性能真空搬送ロボット
- 超低イナーシャ、高応答ブラシレスサーボモータを採用。
- ゼロバックラッシ・ハーモニックドライブ® ギアにより高精度を実現。
- クラス1クリーンルーム対応。
- レガシーロボットマクロコマンド用ソフトウェアエミュレーション。
基本仕様
| ウエハサイズ | 2”（50mm） to 12”（300mm） |
|---|---|
| 積載重量 | 1.2kg |
| エンコーダー | Absolute, 32,768 counts／rev on motor shaft |
| モータータイプ | Brushless, low inertia high response |
| 重量 | 29.5kg（without an end-effector） |
| 動作温度 | 真空（Flange, Arm, End-effector）：Up to 50℃ 大気（Robot body）：10℃ to 40℃ |
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