EQUIPE PRE-200 PRE-300｜概要大気搬送用ロボット／プリアライナー
基本情報（商品構成）
- 機種名
- EQUIPE PRE-200 PRE-300
- 製造元
- Milara Inc.
特長
高精度プリアライナ
- 可動部品を少なくすることで高い信頼性を獲得。
- 高解像度の光学センシング。
- クラス1クリーンルーム対応。
基本仕様
| ウエハサイズ | PRE200：76mm – 200mm, PRE300：150mm – 300mm |
|---|---|
| 可動 | Radial axis：Used for X／Y Offset Theta axis：Rotate Chuck Z axis：Raise and Lower Pins |
| 再現性 | Theta： +／-04°（3 Sigma） X／Y Alignment： +／-. 002”（+／-50 Micron）（3 Sigma） |
| Flat & Notch 互換性 | Entire SEMI Range |
| 検出機構 | Optical, Non-Contact |
| Drive | DC Servo |
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