ニュースリリース

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（社長：川崎正己、以下キヤノンMJ）は、このほどイスラエルCamtek（キャムテック）社（Camtek Ltd., CEO：Mr. Roy Porat）との間で、同社製の電子顕微鏡向け試料作製装置の日本国内における独占販売契約を締結し、12月5日より販売を開始します。

電子顕微鏡向け試料作製装置は、TEMやSTEM、SEM^※といった電子顕微鏡で観察する試料（サンプル）を作製するための装置です。半導体デバイスの超微細化・高密度化に伴い、半導体製造・開発プロセスでの分析要求が大幅に増加しており、TEMやSTEM、SEMなどでの観察・分析においても高精度・高品質な試料を作製することが求められています。
キヤノンMJは、昨年4月からCamtek社と同社製ウエハー外観検査装置の国内独占販売契約を結んでいますが、このたび新たに、その契約製品の範囲を本装置にまで拡大します。

■Camtek社製の試料作製装置「SELA Division Productsシリーズ」の特長

Camtek社製の試料作製装置「SELA Division Productsシリーズ」は、半導体製造・開発プロセスにおけるTEM/STEM/SEM分析向けの試料作製用途として幅広いソリューションを提供します。 “Xact（イグザクト）/Xact200”は、Xe（キセノン）ブロードビームを用いたCamtek社独自のAIM（Adaptive Ion Milling）技術により、厚さ20nm以下、幅10μm程度の薄くて幅広いエリアのTEM/STEM試料を、低ダメージかつ短時間に作製することができます。
また、“EM3”は試料の厚さを20μm程度まで前処理する準備装置で、“Xact/Xact200”と並行して稼働させることで生産性の向上に寄与します。さらに、“MC600i”は断面観察用SEM向けの試料作製装置で、サブミクロン精度の劈開（へきかい）を自動で処理することができます。

■キヤノンMJの目的

キヤノンMJは、本年より開始した長期経営構想の多角化戦略のひとつに「産業機器」を掲げ、世界の優れた製品の販売を強化しています。半導体分野において今後の伸びが期待される分析・解析向けの試料作製装置として本シリーズを拡販します。装置の輸入販売だけでなく、納入後の技術サポートとフィールドサービスも担います。

• ※TEM（transmission electron microscope）：透過型電子顕微鏡
  STEM（scanning transmission electron microscope）：走査透過型電子顕微鏡
  SEM（scanning electron microscope）：走査型電子顕微鏡

【サンプル作製フロー図】