ニュースリリース

2011年11月7日

米国Zygo社製の非接触3次元光学プロファイラーを発売
耐振動性が向上した“ZeGage”


キヤノンマーケティングジャパン株式会社(社長:川崎正己、以下キヤノンMJ)は、米国Zygo(ザイゴ)社(Zygo Corporation、CEO:Dr.Chris L. Koliopoulos)製の非接触3次元光学プロファイラー“ZeGage(ジーゲージ)”を11月30日に発売します。

非接触3次元光学プロファイラー“ZeGage”
非接触3次元光学プロファイラー
“ZeGage”
  • Zygo社非接触3次元光学プロファイラー“ZeGage”
    オープン価格 (販売開始日:11月30日)

■“ZeGage”の特長

“ZeGage”は、世界で数多くの販売実績を誇るZygo社「NewViewシリーズ」の走査型白色干渉法(SWLI)を採用した非接触表面形状測定機です。Zygo社独自のスキャン技術により耐振動性が大幅に向上し、これまでの測定装置に不可欠だった防振台が不要になりました。また、走査型白色干渉法の特性により3ナノメートルという高い垂直分解能を達成していることに加え、9種類の対物レンズを活用することで試料(サンプル)に応じて柔軟に観察視野を変更することができます。さらに、省スペースを考慮したコンパクトなボディ設計とシンプルな操作性を実現しています。

■キヤノンMJの目的

キヤノンMJは、精密金属・樹脂加工メーカーや自動車部品メーカー、切削加工工具メーカーなど、広範な精密加工市場を主なターゲットに本装置“ZeGage”を拡販します。装置の輸入販売だけでなく、納入後の技術サポートとフィールドサービスも担います。

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