ニュースリリース

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（社長：川崎正己、以下キヤノンMJ）は、このほどイスラエルCamtek（キャムテック）社（Camtek Ltd.、CEO：Rafi Amit）との間で、同社製ウエハー外観検査装置の日本国内における独占販売契約を締結し、4月1日より販売を開始します。

ウエハー外観検査装置は、フラッシュメモリーやDRAM、システムLSI（大規模集積回路）などの製造工程で、異物や傷、膜異常といった欠陥を高速かつ精密に検出する装置です。半導体の微細化と高集積化にともない、露光や成膜、エッチング（食刻）など半導体製造の前工程から、ダイシング（切削）や出荷などの後工程まで、広範囲に需要が広がっています。

■Camtek社製ウエハー外観検査装置の特長

Camtek社製のウエハー外観検査装置は、顕微鏡や高解像度カメラ、検査ステージなどで構成されています。独自の画像処理技術を用いた欠陥抽出アルゴリズムと、明視野および暗視野の照明光学系により、従来の外観検査では困難だったコントラストの低い欠陥を、高速かつ高精度に検出することができます。“Gannet（ガネット）”は露光や塗布現像、成膜、エッチング、CMP（平坦化）など、クリーンルーム内での前工程検査に適しています。一方、“Falcon（ファルコン）”は後工程向けの装置で、ダイシングや出荷、バンプ（電極）などにおける検査に適用できます。

■キヤノンMJの目的

キヤノンMJは、今後市場の伸びが期待できるメモリーやLED（発光ダイオード）、CMOSイメージセンサー、MEMS（微小電気機械素子）、3次元実装素子、自動車用IC（集積回路）などを製造する半導体メーカーを対象に販売します。高度な欠陥検査性能を備えた本装置を提供することにより、顧客企業の半導体製造プロセスにおける歩留まりの向上とロスコストの削減に寄与します。