ニュースリリース

このほどキヤノンマーケティングジャパン株式会社（社長：川崎正己、以下キヤノンMJ）は、韓国GemVax & KAEL（ジェムベックスアンドカエル）社（GemVax & KAEL Co.,Ltd.、CEO：Ike-Woo Lee）との間で、同社製ケミカルフィルターの日本国内における独占販売契約を締結し、3月1日より販売を開始します。

ケミカルフィルターは、空気中に微量に存在するアンモニアや酸、オゾン、VOC（揮発性有機化合物）などの分子状汚染物質を除去する機器です。ナノ（ナノは10億分の1）メートルレベルの超微細化が要求される最先端半導体工場のクリーンルームや露光装置、レジスト塗布現像装置などで使用され、効果的なコンタミネーションコントロール（不純物汚染管理）として注目されています。

■GemVax & KAEL社製ケミカルフィルターの特長

GemVax & KAEL社製のケミカルフィルターは、吸着剤を豊富に使用しており、従来のケミカルフィルター製品に比べ約2倍の長寿命化を実現しています。また、吸着剤の粒子および不織布（ふしょくふ）の構造が均質で、吸収シートの表面積が広く空気が通過しやすい形状を採用しているため、従来品に比べ約2分の1という低い圧力損失を達成しています。

■キヤノンMJの目的

キヤノンMJは、半導体露光装置や液晶露光装置、レジスト塗布現像装置などを手掛ける製造装置メーカーや、クリーンルーム設備を保有する半導体デバイスメーカーなどを対象に販売します。高度な汚染物質除去性能を備えた本製品を提供することにより、顧客の半導体・液晶製造プロセスにおけるロスコストの削減と歩留まりの向上、環境負荷の低減に貢献します。キヤノンMJは、これまで注力してきた半導体製造装置や計測装置といった製造装置事業に加え、このたび新たに半導体・液晶関連の材料事業を手掛けることで、産業機器事業の強化を図ります。