このほどキヤノンマーケティングジャパン株式会社（社長：村瀬治男、以下キヤノンMJ）は、スウェーデン王国Obducat（オブデュキャット）社（社長：Patrik Lundstrom）と、同社製のナノインプリント装置の日本国内における独占販売契約を締結し、3月1日より同装置の販売を開始します。これにより、キヤノンMJはナノインプリント装置市場へ参入します。

Obducat社 ナノインプリント装置“Sindre（シンドレ）”

●	Obducat社 ナノインプリント装置“Sindre” （量産向け）※1	‥‥価格(税別)	5億円～ (発売日:3月1日)
●	Obducat社 ナノインプリント装置 （R&D向け）※2	‥‥価格(税別)	2500万円～1億5000万円 (発売日:3月1日)
※1 最大8インチ径の基板に対応した量産向け装置
※2 最大2.5～8インチ角の基板に対応した研究開発向け装置

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この件に関するお問い合わせ先 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 ニュープロダクト開拓課 TEL 03-3740-3457

ナノインプリント装置は、スタンパ（原版）を基板上に塗布したレジスト（感光性樹脂）に押しあてて形状を転写することで、光学部品などにナノ（ナノは10億分の1）メートルレベルの微細加工を施す装置で、従来の露光方式に比べ低コストで生産することができます。昨今の偏光素子やマイクロレンズアレイ、LED（発光ダイオード）といった光学部品の微細化・多機能化と、磁気ディスクや光ディスクなどストレージデバイスの高密度化にともない、各種産業デバイスの基板に微細なパターンを形成するニーズが高まってきています。
キヤノンMJは、これまで半導体製造装置や液晶パネル製造装置、計測装置など、先端産業向けの各種装置を提供してきましたが、このたび新たにナノインプリント装置市場に参入することにより、産業機器分野のビジネスをさらに拡充していきます。

Obducat社のナノインプリント装置は、熱とUV（紫外線）を用いて基板全面に一括転写する方式を採用しており、空気圧を利用した同社独自のSoftPress™テクノロジーにより、基板全面へ均一に微細パターンを転写することができます。また、温度制御と紫外線照射を同時に行うSTU™（Simultaneous Thermal and UV™）テクノロジーを採用しており、基板への正確なパターン転写を実現しています。さらに、マスタースタンパと基板が直接接触するのを避けることが可能なIPS™（Intermediate Polymer Stamp™）技術により、スタンパの長寿命化を図るとともに、ほこりなどの異物が付着した際の転写不良を最小限に抑えるなど、歩留まりを大幅に向上させています。